Pärast valgusvihu jaoturisse sisenemist saab tavalise valguse vastavalt lainepikkusele jagada järgmisesse kolme tüüpi:
UV lähedal (UV lähedal): 200-380 nm
Vaakum UV< vuv=""> : 10-200 nm
Äärmuslik ultraviolett, äärmuslik ultraviolett (ExtremeUV 〈EUV〉): 1-10 nm
